保障半導(dǎo)體工廠供電安全穩(wěn)定、高效運(yùn)營(yíng),CET有所為
隨著智能產(chǎn)業(yè)發(fā)展以及各傳統(tǒng)行業(yè)數(shù)字化轉(zhuǎn)型,半導(dǎo)體元件需求高速增長(zhǎng)。根據(jù) SIA(美國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì))數(shù)據(jù),2021 年中國(guó)半導(dǎo)體銷售額為1925億美元,占全球總銷售額 34.6%,成為全球半導(dǎo)體增長(zhǎng)主要驅(qū)動(dòng)力。
對(duì)于處在發(fā)展快道的中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)而言,提升工藝水平與生產(chǎn)效率是提高競(jìng)爭(zhēng)力的要點(diǎn)。
半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)原材料、設(shè)備、工藝以及生產(chǎn)環(huán)境質(zhì)量有著極高要求,且生產(chǎn)流程復(fù)雜。比如,晶圓的生產(chǎn)需要先生產(chǎn)硅單晶棒,然后再進(jìn)行切片、退火、倒角、研磨、拋光、清洗包裝等步驟;集成電路生產(chǎn)需要經(jīng)過(guò)制備薄膜、涂光刻膠、烘干、光刻、顯影、刻蝕、去膠、離子注入等步驟。
每項(xiàng)步驟都對(duì)精細(xì)控制有著極高要求,因此需要非常精準(zhǔn)、穩(wěn)定、可靠的電能供應(yīng)。一旦發(fā)生斷電或電壓暫降等問(wèn)題,就可能中斷流程,導(dǎo)致產(chǎn)線上的半導(dǎo)體報(bào)廢;高精密設(shè)備需重新調(diào)試,甚至可能因此發(fā)生故障,造成巨大經(jīng)濟(jì)損失。
因此,穩(wěn)定供電是保障半導(dǎo)體生產(chǎn)工廠平穩(wěn)運(yùn)行、提高效率與良品率的重要因素。
不過(guò),這并非易事。由于電網(wǎng)中接有各種非線性負(fù)荷,給電網(wǎng)系統(tǒng)帶來(lái)諧波等電能質(zhì)量問(wèn)題。另外,基礎(chǔ)設(shè)施質(zhì)量、氣象災(zāi)害事件也可能引發(fā)電壓暫降甚至斷電。因此,半導(dǎo)體工廠需配置良好的電力基礎(chǔ)設(shè)施,精準(zhǔn)地監(jiān)測(cè)電能質(zhì)量,分析電能狀況,及時(shí)預(yù)警、保護(hù)等。
深圳市中電電力技術(shù)股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“CET中電技術(shù)”)長(zhǎng)期為半導(dǎo)體廠商提供軟硬件產(chǎn)品及服務(wù),幫助提升半導(dǎo)體工廠的連續(xù)性和供電穩(wěn)定性,為半導(dǎo)體生產(chǎn)保駕護(hù)航。
CET中電技術(shù)創(chuàng)立于1993年,是首批國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè),現(xiàn)具備從智能用電管理到電氣火災(zāi)監(jiān)控的豐富產(chǎn)品線,并通過(guò)了全球軟件領(lǐng)域最高級(jí)別“CMMI5”認(rèn)證。
CET中電技術(shù)為長(zhǎng)江存儲(chǔ)“國(guó)家存儲(chǔ)器基地”項(xiàng)目提供電力監(jiān)控系統(tǒng),為北京集成電路示范線項(xiàng)目一期提供電力監(jiān)控系統(tǒng)和電氣火災(zāi)監(jiān)控系統(tǒng),為奧特斯高科技ABF載板生產(chǎn)廠區(qū)提供智能用電管理系統(tǒng)。
變電所電力監(jiān)控系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)微機(jī)保護(hù)、全電量采集、電能質(zhì)量監(jiān)測(cè)、分時(shí)計(jì)費(fèi)、故障診斷、波形瞬態(tài)捕捉、能源管理、智能化低壓電動(dòng)機(jī)保護(hù)控制等功能,提高供配電系統(tǒng)的可靠性及自動(dòng)化水平。
智能用電管理系統(tǒng)可實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行情況,實(shí)現(xiàn)電能質(zhì)量監(jiān)測(cè)、預(yù)警電力事故,減少事故損失,助力項(xiàng)目安全高效運(yùn)行。
電氣火災(zāi)監(jiān)控系統(tǒng)具有剩余電流、溫度等電氣火災(zāi)危險(xiǎn)信號(hào)預(yù)警、故障報(bào)警等功能,且滿足大容量存儲(chǔ),幫助管理人員實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)分析,定位故障點(diǎn),保障工廠安全運(yùn)行。
目前,變電所電力監(jiān)控和智能用電管理系統(tǒng)整合為“CET半導(dǎo)體行業(yè)電力監(jiān)控與管理系統(tǒng)”,該系統(tǒng)是集中低壓配電監(jiān)控、電能質(zhì)量在線監(jiān)控、柴發(fā)監(jiān)控、UPS & AVC監(jiān)控、蓄電池監(jiān)控、光伏監(jiān)控、母線測(cè)溫多方位監(jiān)控等功能于一體的信息系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)設(shè)備快速排障及預(yù)防性維護(hù),保障關(guān)鍵設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行,幫助工廠實(shí)現(xiàn)電能質(zhì)量分析、供配電系統(tǒng)綜合自動(dòng)化、智能化用電管理、精細(xì)化能源管理等目標(biāo)。
CET中電技術(shù)也為半導(dǎo)體企業(yè)提供硬件裝置,其中,iMeter系列供配電異常信息捕捉及故障診斷分析裝置尤為出色。
早在2014年,iMeter系列就已經(jīng)出口德國(guó),并在眾多大型項(xiàng)目中得到應(yīng)用。iMeter系列具有高精度計(jì)量、電能質(zhì)量在線監(jiān)測(cè)、供電系統(tǒng)局部故障診斷與定位等功能,特別適用于對(duì)供電質(zhì)量及供電可靠性具有高要求的場(chǎng)所。

通過(guò)該裝置結(jié)合CET DiagSys供配電系統(tǒng)故障診斷及分析軟件,CET生成供配電系統(tǒng)異?,F(xiàn)象捕捉及診斷解決方案,可根據(jù)異常發(fā)生時(shí)的電量特征捕捉及定位擾動(dòng)源,并生成故障診斷分析報(bào)告,幫助管理人員洞悉供配電系統(tǒng)的健康狀態(tài),預(yù)知風(fēng)險(xiǎn)。這一方案已在青島芯恩集成電路研發(fā)生產(chǎn)項(xiàng)目得到大規(guī)模應(yīng)用。
除此之外,CET中電技術(shù)的電表、保護(hù)測(cè)控裝置也在半導(dǎo)體企業(yè)得到廣泛應(yīng)用。
CET中電技術(shù)還為中芯北方、華虹宏力、華星光電、福州京東方、成都中電熊貓,以及英特爾、英飛凌、LG、日月光、美光、南亞科、聯(lián)發(fā)科等企業(yè)提供產(chǎn)品服務(wù),為其創(chuàng)造更安全可靠、節(jié)能環(huán)保的用電系統(tǒng)。